2020-02-08-2小刘科研笔记之FIB-SEM双束系统在材料研究中的应用_百度...
聚焦离子束扫描电镜双束系统（FIB-SEM）是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统，同时具备微纳加工和成像的功能，广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文记录一下FIB-SEM在材料研究中的应用。
FIB-SEM FIB-SEM是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统，同时具备微纳加工和成像的功能，在材料的表征分析中具有重要的作用。
聚焦离子束（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）耦合成为FIB-SEM双束系统后，通过结合相应的气体沉积装置，纳米操纵仪，各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像加工分析操纵于一体的分析仪器。
搞定SEMTEM样品制备方法,拍出高级电镜图!
1扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）于1965年左右发明，其利用二次电子背散射电子及特征X射线等信号来观察分析样品表面的形态特征，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法。
2超薄切片法这是最常用的方法，因为可以观察细胞或其它样品内部的细微结构。通常是要按照一定程序对样品进行固定，脱水，然后包埋在树脂中作为支持物，用超薄切片机切成极薄的切片。
3建议由老师制备或在老师指导下制备。）4．等15 min以上，以便乙醇尽量挥发完毕；否则将样品装上样品台插入电镜，将影响电镜的真空。块状样品制备 1．电解减薄方法 用于金属和合金试样的制备。
4放大率：与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕照片面积除以扫描面积得到。
5同样的样品，不同的实验室做出来效果差别很大。 有对样品进行这样处理的，用乙醇或丙酮稀释，超声分散后，取液滴滴在铜板上，干燥后喷金，做样。
6图13-2-1 SEM的基本结构示意图 在扫描电镜中，电子枪发射出来的电子束，经3个电磁透镜聚焦，成直径为20 μm～25 的电子束。置于末级透镜上部的扫描线圈能使电子束在试样表面上做光栅状扫描。
SEM制样如何让纳米粒子整齐有序地排列
1固体样品可以直接看SEM，不过粉体一定要非常少，用个镊子撒一点点上去，然后用吹掉多余的部分。
2直接放在玻璃片上，乙醇让他挥发了就可以了，可以照的到的，而且团聚也不算严重。
3具体看看你的样品有什么特征了，要能很好的分散在溶剂中，如果太黏，制样的效果不好；还有就是如果忖度太低，需要染色，这样效果要好点。
4纳米颗粒是指在100纳米以下的，都叫纳米颗粒。测试粒径分布的现在高级货都用马而文激光粒度测试仪（也有低端国产的粒度仪），可以提供粒度报告，尺寸分布报告，体积分布报告，强度分布报告等多种数据。
抛光硅片可以最SEM基底吗
1很多纳米管线等都是在类似的基体上生长，然后直接SEM观察。换句话说，只有纳米材料才会考虑用抛光硅片做样品载台。微米亚微米级别的，浪费，直接双面导电胶带粘即可。
2检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜。扫描电镜SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
3凭空想的呀...粗面肯定你怎么分辨是面还是你的东西，单抛是因为成本，你可以买双抛的 制完样后不是直接就粘在导电胶上了吗又不用区分粗面和光面。
4以目前实验室配有的FIB-SEM的型号是蔡司的Crossbeam 540为例进行如下分析，离子束最高成像分辨率为3nm，电子束最高分辨率为0.9nm。
为什么我的样品滴到硅片上测sem能谱还是能检测到碳
1如果样品为溶液，则样品需要滴在一定的基板上（如玻璃），然后干燥，再喷碳就可以了。如果样品本身导电就无需喷碳。水溶液中的纳米粒子如何做TEM透射电镜样品必须在高真空中下检测，水溶液中的纳米粒子不能直接测。
2如果是Au，Pt的可以用王水溶掉吧我没做过，只是猜测。至于镀层厚度，要看你的具体情况了，几个nm到十几个nm都有。如果你做能谱可能要薄一点，如果想观察到清晰图像，不被样品的二次电子干扰，可能就要厚一点。
3一般250到500元每个样品。扫描电镜比较费时的是样品处理。测试速度我见过最快的是当天出结果，你可以搜一搜飞秒检测。
4样品制备很简单。目前，所有的扫描电镜设备都配备了x射线能谱仪，可以同时观察微观组织和形貌，分析微区成分。因此，它是当今非常有用的科学研究工具。2．透射电子显微镜在材料科学和生物学中有着广泛的应用。
5这些方法可以用于分析样品中某些特定化学物质的含量。 X射线荧光光谱法：通过照射样品，使样品发射出X射线，并根据X射线的能量来确定样品的元素种类和含量。
求助扫描电镜SEM送样前处理
1导电胶粘到SEM试样铜台上，硅片粘到导电胶上。样品用乙醇分散一下，滴到硅片上，待乙醇挥发后就可以拿去测了。
2用扫描电镜对样品或试件进行观察时样品处理如下：样品要尽可能干燥，含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干除去；若样品中含有水份，水分挥发会造成仓内真空度急剧下降，导致图像漂移，有白色条纹，甚至会影响灯丝寿命。
3如果用ESEM，取样后可直接放入样品室，在一定“环境真空”下进行观察；如果采用LV模式，直到干燥，可以免喷金；高真空模式，必须做到喷金等样品导电处理。
