【知识】扫描电镜(SEM)知识大全
1扫描电镜（SEM）是什么 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）于1965年左右发明，其利用二次电子背散射电子及特征X射线等信号来观察分析样品表面的形态特征，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法。
2扫描电子显微镜（SEM）的基本结构及原理 扫描电镜基本上是由电子光学系统信号接收处理显示系统供电系统真空系统等四部分组成。图13-2-1是它的前两部分结构原理方框图。
3电子光学系统：微观世界的造像大师SEM的电子光学系统负责产生极其细窄的电子束，通过精确扫描样品表面，捕捉每一个微小细节。
4放大率：与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕照片面积除以扫描面积得到。所以，SEM中，透镜与放大率无关。
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SEM+EDS，可以通过扫描电镜和能谱，获知形貌粒径分布元素半定量等，为后续分析做一个基本参考。属于无损检测，不消耗样品。FITR，红外光谱分析。通过红外，可以或者很多官能团结构或者直接获得样品成分。
无论是SEM还是TEM均可，只是多数情况下，EDS采用无标样定量，定量分析结果是半定量的，不能作为决断性证据，而只能做其他表征手段的support information。
这个是可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。
