薄膜如何测sem截面

怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

使用扫描电镜照涂层材料的断面图，可以观察涂层的微观结构成分和形貌等信息。具体步骤如下：准备样品：将涂层材料嵌入透明树脂中，然后对其进行切割。制备样品：将切割好的样品进行打磨，得到一个平整的样品表面。

SEM断面指在扫描电子显微镜下观察样品断面的图像。根据查询相关公开信息显示，SEM断面是在扫描电子显微镜下，通过横向切割或纵向切割样品，观察样品断面的显微镜图像。是一种利用电子束扫描物体表面形态和成分的显微镜。